Popolnoma avtomatizirana kontrola v industriji polprevodnikov in mikroelektromehanskih sistemov (MEMS)

28.08.2020

Podjetje FRT GmbH je marca letos na trgu predstavilo svoj nov sistem za kontrolo in merjenje MicroProf DI. V svojem proizvodnem obratu Bergisch Gladbachu blizu Kölna je podjetje razvilo orodje za reševanje nalog na področju visokonatančnih optičnih meritev in kontrole površine v industriji proizvodnje polprevodnikov.

Podjetje FRT GmbH ponuja s svojim novim sistemom MicroProf DI orodje za kontrolo, ki vsebuje modul za enkraten zajem celotne slike, koračno kamero in postajo z visokonatančnim mikroskopom ter celovito večsenzorsko merilno tehnologijo z različnimi senzorji za topografijo in debelino plasti. Odkrivanje napak do merilnega območja manjšega od enega mikrometra se lahko sedaj izvaja na hiter in zanesljiv način.

»MicroProf DI je visokonatančen optični sistem za površinsko merjenje in kontrolo v industriji polprevodnikov podjetja FRT. | Vir: FRT

Orodje za optično kontrolo MicroProf DI omogoča pregledovanje strukturiranih in nestrukturiranih polprevodniških rezin med celotnim proizvodnim procesom. MicroProf DI zagotavlja kombinacija 2D-kontrole in meritev rešitev za raznolike aplikacije, vključno s kontrolo napak in meritvami na ravni polprevodniških rezin.

Prednosti sistema MicroProf DI: 

• zanesljiva platforma vključno z visoko fleksibilno programsko opremo,
• razvoj in kvalifikacija novih procesov za kupcev,
• moduli, ki se jih kombinira na fleksibilen način na eni platformi,
• primeren za vse površine polprevodniških rezin ter zagotavlja visoko pretočnost za učinkovit nadzor procesa.

Orodje podjetja FRT zagotavlja visoko pretočnost in je popolnoma primerno za uporabo v visokoserijski proizvodnji polprevodniških rezin. Osrednja komponenta sistema je dobro uveljavljeno večsenzorsko orodje MicroProf 300, ki omogoča tako merjenje polprevodniških rezin v različnih fazah proizvodnje polprevodniških rezin kot tudi izvajanje natančnih meritev vzorcev z uporabo hibridne metrologije, ki izboljša natančnost meritev v primerih, ko posamezni senzor ali merilni princip nista dovolj.

Programska oprema za odkrivanje napak podjetja FRT zagotavlja učinkovito vizualizacijo, vsestransko procesiranje in hitro izdelavo map polprevodniških rezin ter natančno vrednotenje in celovito dokumentacijo napak. Edinstven sistem MicroProf DI združuje meritve in kontrolo v enem fleksibilnem orodju.

Vir: rtmetrology.com